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Eine punktförmige Lichtquelle wird über das Abtastobjektiv
auf die Oberfläche der Probe projeziert. Das reflektierte Licht
wird vom selben Objektiv eingesammelt und vom Kollimator wieder zu
einem Brennpunkt vereint.
Der zurücklaufende Lichtweg wird vom Strahlteiler ausgekoppelt.
Unter dem Einfluß der Zylinderlinse wird der Brennpunkt in zwei
zueinander orthogonale Brennlinien aufgespalten. Der Detektor ist
mittig zwischen die nominale Position der Brennlinien positioniert.
Befindet sich die Oberfläche exakt im Fokus, entsteht auf dem
Detektor ein Kreis. Abweichungen von der Fokussierung ergeben eine
Ellipse, deren Orientierung und Exzentrizität ein Maß für
die Defokussierung nach Betrag und Richtung darstellt.
Die Formabweichung wird über die unterschiedliche Stromverteilung
in den vier Quadranten der Photodiode ausgewertet und einem Regelkreis
zugeführt. Der Regelkreis bewirkt mittels Verstellung der Objektivlinse
die Nachführung des Fokus auf der Probenoberfläche. Die
Nachführbewegung des Objektivs wird über einen Glasmaßstab
ermittelt und als Meßwert ausgegeben. |
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