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Der Weißlichtsensor nutzt die (normalerweise unerwünschte)
Abhängigkeit der Brennweite der Objektivlinse von der Wellenlänge
des verwendeten Lichts (chromatische Aberration). Licht aus einer
breitbandigen Quelle gelangt über den Lichtwellenleiter zum Sensor
und wird von der Objektivlinse fokussiert. Die Brennweite der Objektivlinse
hängt von der Wellenlänge (Farbe) des Lichts ab, blaues
Licht wird stärker gebrochen und gelangt vor rotem Licht zum
Fokus.
Befindet sich die Oberfläche innerhalb des Meßbereichs,
wird bevorzugt Licht der Wellenlänge in den Lichtwellenleiter
reflektiert, für das die Oberfläche im Brennpunkt liegt.
Das reflektierte Licht gelangt über den Lichtleiter zum Spektrometer.
Dort wird die dominante Wellenlänge bestimmt und in den zugehörigen
Profilwert umgerechnet.
Im
Gegensatz zu den Konfokalsensoren KF3 und Tele wird beim
Weißlichtsensor der Tiefenscan durch die chromatische
Längsaberration und ein Spektrometer realisiert. Der Sensor ist rein
passiv. |
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