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Eine punktförmige Lichtquelle wird über das Abtastobjektiv
auf die Oberfläche der Probe abgebildet. Das reflektierte Licht
wird vom selben Objektiv eingesammelt und auf den punktförmigen
Detektor geleitet.
Wie aus der Skizze ersichtlich ist die Leuchtdichte auf der Oberfläche
im Fokus maximal und fällt mit zunehmender Defokussierung rasch
ab. Bei der Abbildung zurück wird die beleuchteten Fläche
auf den Detektor abgebildet. Bei Defokussierung wird die Strahlung
auf eine große Fläche verteilt, die Leuchtdichte auf dem
Detektor ist gering. Auch diese Abbildung weist einen quadratischen
Intensitätsabfall auf.
Insgesamt ergibt sich ein scharf ausgeprägtes Intensitätsmaximum
auf dem Detektor, sobald sich die Oberfläche im Fokus befindet.
Bei den Konfokalsensoren führt das Abtastobjektiv eine harmonische
Schwingung aus. Die Auswerteelektronik erfaßt den Zeitpunkt
des Signalmaximums und errechnet den zugehörigen Profilwert.
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