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Verfahrbereich |
50 x 50 mm, optional bis 300 x 300 mm |
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Wiederholgenauigkeit (unidirektional) |
0.5 µm |
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Umkehrspiel |
besser 3 µm |
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Geradheitsabweichung |
0.2 µm über 10 mm
0.5 µm über 50 mm |
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Maximale Verfahrgeschwindigkeit |
30 mm/sec |
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Encoderauflösung |
0.5 µm |
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Maximales Probengewicht |
16 kg |
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Meßbereich z- Richtung |
Je nach Sensor:
- 1.5 mm (Autofokus)
- 1 mm (Konfokalsensoren)
- 0.5 mm (Weißlichtsensor)
- 0.4mm (Weißlichtinterferometer)
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Auflösung z- Richtung |
Je nach Sensor:
- 10 nm (Autofokus)
- 20 nm (Konfokalsensoren)
- 25 nm (Weißlichtsensor)
- 0.1nm (Weißlichtinterferometer)
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Schnittstellen |
RS232 für Motorsteuerung und Sensoren |
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Abmessungen |
ca. 400 x 350 x 350 mm (50x50mm) bis 600 x 500 x 350mm (200x200mm) |
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Gewicht |
40 kg (50x50mm) bis 120 kg (200x200mm) |
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Optionen |
- Motorisierte z-Achse mit Messbereichserweiterung
- Kamerasystem je nach Sensor
- Schwingungsisolator aktiv und passiv
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Technische Änderungen vorbehalten.
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