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Technische Daten des KF3 Konfokalsensors | ||||
| Messprinzip | Auswertung der maximalen Leuchtdichte unter Einsatz eines schwingenden Objektivs. Nach Abschluß jeder Halbschwingung liegt die Intensitätsinformation über den kompletten Meßbereich vor. Beliebige Stufen im Meßbereich werden innerhalb 5ms erfaßt. Die Meßwerte sind unabhängig von der Meßrichtung. | ||||
| Abmessungen | Tischgehäuse: 260x180x80 mm Sensor : 122x70x27 mm |
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| Meßbereich | 1000 µm | ||||
| Auflösung | 20 nm | ||||
| Linearität | 1 µm über den Bereich | ||||
| Reproduzierbarkeit | Standardabweichung <= 15 nm bei einer Stufenhöhe von 504 µm auf polierter Oberfläche | ||||
| Arbeitsabstand | 4 mm | ||||
| Strahlquelle | Halbleiterlaser mit einer Wellenlänge von ca. 660 nm, Ausgangsleistung 500 µW | ||||
| Laserklasse |
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| Meßfleckgröße | 1,7 µm beugungsbegrenzt | ||||
| Oberflächenneigung | 90°+/- 25° bei hochglänzender Oberfläche, mehr bei diffuser Reflektion | ||||
| Dynamik | Verarbeitet Reflexionsunterschiede größer als 5000:1 in einem Bereich ohne Einfluß auf die Meßgeschwindigkeit. | ||||
| Abtastrate | 16 Hz - 1 kHz, unabhängig von der Oberflächenbeschaffenheit | ||||
| Sprungantwort | Anstiegszeit <= 5 ms | ||||
| Datenübertragung | RS232 1000/s Profilwerte + Reflexionswerte in Echtzeit | ||||
| Gewicht | ca. 250 g Sensor ca. 4,0 kg Auswerteeinheit |
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| Optionen | Analogausgang +/-10 V für Profil und Reflexion Triggerung der Datenaufnahme auf Encodersignale |
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| Technische Änderungen vorbehalten. |
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