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Verfahrbereich |
60 x 60 mm |
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Wiederholgenauigkeit (unidirektional) |
1.0 µm |
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Umkehrspiel |
besser 1.5 µm |
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Geradheitsabweichung |
0.4 µm über 10 mm
4.0 µm über 60 mm |
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Maximale Verfahrgeschwindigkeit |
5 mm/sec |
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Encoderauflösung |
40.8 nm |
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Maximales Probengewicht |
5 kg |
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Meßbereich z- Richtung |
Je nach Sensor:
- 1 mm (KF3)
- 0.1 - 0.5 mm (Weißlichtsensor)
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Auflösung z- Richtung |
Je nach Sensor:
- 20 nm (KF3)
- 7.5 - 25 nm (Weißlichtsensor)
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Kamerasystem |
Offset-Farbkamera, Bildfelddurchmesser 8mm, 752x582 Pixel, 25fps. Bildausgabe in Videofenster. |
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Schnittstellen |
RS232 für Motorsteuerung und Sensoren
USB-Anschluß für Videoeinbindung |
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Abmessungen |
ca. 310 x 405 x 360 mm |
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Technische Änderungen vorbehalten.
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