Technische Daten des KFM xpert Konfokalmikroskops | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Messprinzip |
Konfokaler Meßmodus: Flächenhafte konfokale Detektion mittels rotierender Nipkowscheibe. Aufgrund der tiefendiskriminierenden Wirkung des konfokalen Strahlengangs gelangen nur Bildteile in unmittelbarer Umgebung des Fokus zur Abbildung und Auswertung. Ein spezieller authentic peak detection Algorithmus extrahiert aus den Bilddaten sowohl die Profilhöhe als auch ein omnifokales Oberflächenbild. Interferometrischer Meßmodus: Durch Überlagerung des von der Probe reflektierten Lichts mit einer im Objektiv erzeugten Referenzwelle ergeben sich in einem kleinen Bereich um die optimale Fokuslage charakteristische Intensitätsvariationen im Kamerabild. Spezielle Algorithmen (Details) bestimmen daraus Profilhöhe und Interferenzkontrast. |
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Ausführung | Integrierte Steuerelektronik für Sensor und Piezoversteller. Anschlüsse für Tischnetzteil, FireWire und RS232 an der Sensoroberseite. Manueller Objektivrevolver. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Mikroskop | Integrierte Hellfeld-Auflichtbeleuchtung mit motorisierter Umschaltung zwischen konfokalen und interferometrischen Strahlengang. Das Bildfeld hängt vom verwendeten Objektiv ab. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Kamera | FireWire-Kamera mit 780 x 580 pixel, bis 48 Bilder/s | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Beleuchtung | Integrierte grün-blaue Hochleistungs-LED (505nm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Verfahrbereich | 50mm, 100mm | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Messbereich | bis 4mm | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Standardobjektive |
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Gewicht | c.a. 5kg | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Abmessungen | ca. 394x140x100mm ohne Objektiv und Revolver ca. 504x140x100mm komplett |
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Systemeinbindung | FireWire, RS232. DLL zur Intergration in OEM-Software verfügbar. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Softwareunterstützung | vollständige Einbindung in Mess- und Auswertesoftware Inspector, automatisierbar | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Optionen |
motorisierte X/Y-Achse. motorisierter Objektivrevolver. Software für Bildfeldzusammenführung (Panoramabilder). Farb/Megapixelkamera. |
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1 geometrisch/optisch 2 flächenhafter Ra-Wert bzw. flächenhafte Standardabweichung, |
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Technische Änderungen vorbehalten. |