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Anwendungsbeispiele:
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Lasererodierte
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Chromstruktur auf
Walzenoberfläche
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Lasergravur
auf Glas
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Ebenheit und Rauheit
einer Dichtfläche
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Das Weißlichtinterferometer WLI ist
zur berührungslosen Messung superglatter bis moderat strukturierter technischer
Oberflächen vorgesehen. Eine breite Auswahl an Objektiven mit Vergrößerungen zwischen
2.5x und 100x sowie Implementierung unterschiedlicher Auswerteverfahren überdecken einen breiten
Applikationsbereich zwischen mikroskopischen und makroskopischen Applikationen. In Verbindung mit
dem integrierten Piezoversteller sind Meßbereiche bis 400 µm und Auflösungen
im sub-nm Bereich möglich.
Das Interferometer kann als OEM-Komponente eingesetzt werden, oder bildet in Verbindung mit unseren
Meßständern Hyperion, Enceladus und Titan ein preisgünstiges
und flexibles Meßsystem.
Durch Überlagerung des von der Probe reflektierten Lichts mit einer im Objektiv erzeugten Referenzwelle
ergeben sich in einem kleinen Bereich um die optimale Fokuslage charakteristische Intensitätsvariationen im Kamerabild.
Spezielle Algorithmen (Details) bestimmen daraus Profilhöhe und Interferenzkontrast.
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- Mikroskopbasierte Technologie zur Erfassung kleinster Details bis ans physikalische Limit.
- Flächenhaftes Messverfahren für sekundenschnelle Ergebnisse.
- Wartungsfrei und langlebig durch LED-Technologie, geringe Leistungsaufnahme.
- Geeignet für mikroskopische bis großflächige Messungen.
- Höchste laterale und axiale Auflösung.
- Umfangreiches Sortiment an ausgesuchten Objektiven höchster Qualität
mit Vergrößerungen zwischen 2.5x und 100x verfügbar.
- Kompakte Abmessungen: 220 x 93 x 65mm incl Objektiv.
- In OEM-Aufbauten integrierbar.
- Wahlweise als Zusatz zu Industriemikroskop verfügbar.
- Preisgünstig.
- Messung von Topografie, Höhe, Form, Position.
- Bestimmung abgeleiteter Größen wie Rauheit, Fläche, Ebenheit oder Volumen.
- Visualisierung durch parallele Erfassung des Oberflächenbildes.
- Halbleiterbereich, Elektronik, Elektrotechnik
- Optik, Materialforschung, Maschinenbau
- Medizintechnik
- Messungen an hochempfindlichen, weichen oder flüssigen Medien
- Messungen an optisch anspruchsvollen Messobjekten
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