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Kompatibel mit einem oder
mehreren unserer Sensoren:
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Autofokussensor
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Konfokalsensor
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Tele-Konfokalsensor
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Weißlichtsensor
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Weißlichtinterferometer
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Die Komponentenanlage Titan beruht auf dem in Optik und Physik weit verbreiteten Breadboardaufbau.
Die Wabenkonstruktion des Breadboard verbindet dank der integrierten Wabenstruktur herausragende Stabilität mit geringem Gewicht,
speziell bei Tisch- und Großgeräten.
Montagebohrungen im Rastermaß sowie eine Vielzahl standardisierter Komponenten ermöglichen Aufbau und Ausstattung nach Maß.
Standardkomponenten gewährleisten ein unübertroffenes Qualitätsniveau, Preis-Leistungsverhältnis und Lieferverfügbarkeit speziell
bei Sonderkonstruktionen.
Zur Meßwerterfassung stehen die optischen Sensoren der OPM GmbH zur Verfügung.
Sie erlauben die direkte Vermessung von Strukturgrößen bis zu einer Höhe
von 1.5 mm, in Verbindung mit der optionalen motorisierten Z-Achse
bis in den cm-Bereich und einer Auflösung bis zu 10 nm,
beim Interferometer bis in den sub-nm Bereich.
Das Softwarepaket Inspector ermöglicht eine umfangreiche Analyse
der aufgenommenen Meßdaten.
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- Multisensorfähig: Anpassung an vielfältigste Messaufgaben durch verschiedene Sensoren.
- Abmessung je nach Anforderung 300 x 300mm bis 1200 x 900mm.
- Geringes Gewicht dank Wabenkonstruktion des Breadboards.
- Höchste Präzision.
- Verfahrbereich je nach Anforderung.
- Variable Probenhöhe.
- Standardisierte Komponenten namhafter Herstaller bieten ein unübertroffenes Preis/Leistungs Verhältnis.
- Standardisierte Einhausung verfügbar.
- Verschiedene Unterkonstruktionen, wahlweise mit aktiver oder pneumatischer Schwingungsisolation und
automatischer Nivellierung verfügbar.
- Labor- und Institutsbereiche, speziell Materialforschung
- Mikromechanik und Nanotechnologien
- Meßräume in der Industrie
- prozessbegleitende Qualitätssicherung
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Weitere Anlagenausführungen:
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