Granitstativ

Säulenkonstruktion, 380x330x550mm (Länge x Breite x Höhe), Gewicht 84kg.
passiver Schwingungsdämpfer.

Vertikale Verfahrachse

Präzisionsmeßtisch, Verfahrweg 50mm, DC-Motor, Auflösung 20nm. Die Achse ist unabhängig vom Piezoversteller des Konfokalmikroskops.

Motorcontroller für Z-Achse

Zweiachs-Motorcontroller im Tischgehäuse 260x160x95mm. Systemanbindung über RS232.

Systemcontroller

Standard-PC neuester Bauart, Netzwerk, DVD-Brenner, 19"-Monitor, serielle Schnittstelle, XP professional.

Systemsoftware

Meß-, Steuer- und Auswertesoftware Inspector. Die Software übernimmt die Ansteuerung von Anlage und Konfokalmikroskop, und stellt umfangreiche Analyse- und Visualisierungstechniken zur Verfügung. Fotorealistische 2D und 3D-Ausgaben sind enthalten. Einfacher Export der Grafiken in Fremdprogramme.

Sensoradapter

Im Lieferumfang ist ein Adapter zur direkten Montage des Konfokalmikroskops enthalten.

Konfokales Mikroskop KFM

Eine Spezifikation des Konfokalmikroskops sowie der verfügbaren Standardobjektive finden Sie im Produktdatenblatt KFM.

Konfokales Mikroskop und Weißlichtinterferometer KFM xpert

Eine Spezifikation des Kombigeräts sowie der verfügbaren Standardobjektive finden Sie im Produktdatenblatt KFM xpert.

Weißlichtinterferometer WLI moB

Eine Spezifikation des Interferometers sowie der verfügbaren Standardobjektive finden Sie im Produktdatenblatt WLI moB.

motorisierter XY Verfahrtisch für Probenpositionierung und Panoramabildgenerierung

Präzisionsverfahrtisch XY25, Verfahrweg 25x25mm, DC-Motor, Auflösung 20nm
Präzisionsverfahrtisch XY50, Verfahrweg 50x50mm, Schrittmotor, Auflösung 0.5µm.
Motorcontroller im Tischgehäuse.

Modul Panoramabildgenerierung

Das plug-in zu Inspector übernimmt die Steuerung der Messungen sowie die Bildzusammenführung für großflächige Meßfelder.

Modul Automatisierung

Das plug-in zu Inspector erlaubt die Automatisierung wiederkehrender Messungen.

Scheimpflug-Seitenkamera

Die Seitenkamera ermöglicht mit dem großen Bildfeld von 8x6mm das einfache Auffinden von Meßpositionen. Die Bildaufnahme erfolgt in einem Winkel zur Senkrechten, Bildebene und Verzeichnungen sind korregiert.

Elektronikcontainer, Tisch

Die Elektronik (Motorcontroller, Stromversorgung KFM, PC) steht wahlweise in einen 19"-Container zur Verfügung. Passend dazu ist ein Arbeitstisch erhältlich. Die Abmessungen betragen 1210x720x900mm (Breite x Höhe x Tiefe).

Aktiver oder passiver Schwingungsisolator

Die Schwingungsisolatoren erlauben Messungen höchster Auflösung auch bei problematischen Umweltbedingungen.